- Точность динамического следования составляет менее 0,1 мм.
- Точность обнаружения составляет менее 0,01 мм.
- Диапазон определения емкости составляет от 0 до 9,9 мм.
- -1ОВ ~ +1ОВ аналоговый выход управления напряжением сервопривода.
- Максимальная скорость может достигать 800 мм/с, а максимальное ускорение может достигать 1000Омм/с"2.